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    1. 新聞詳情

      NEWS DETAIL

      聯研院與香港科技大學合作研發碳化硅器件特殊工藝

      日期:2020-05-21 16:48:15

             國內技術領先的碳化硅器件中試線“解鎖”新工藝,疫情期間,聯研院的重點試驗室、研究平臺等科研人員早早復工,身影忙碌在實驗室或中試線上,保證各類科研項目腳步不停。

       

              春節前,全球能源互聯網研究院(以下簡稱“聯研院”)接到了一個來自香港科技大學委托的訂單,希望可以利用聯研院的大功率電力電子器件中試線完成“低離子注入激活率碳化硅器件退火激活工藝”的研發?!斑@個工藝是一種晶圓加工的特殊工藝,不是我們平時中試線定制好的‘服務菜單’,相當于是客戶根據自己的需求點了個‘新菜’?!敝性嚲€相關負責人吳昊介紹。

             春節期間,新冠肺炎疫情的突發讓這一訂單面臨延后風險。在做好防疫措施的情況下,聯研院的科研人員還是早早復工投入了這一新工藝的研發當中?!耙环矫嫖覀儾辉敢獾⒄`需求方的進度,另一方面制造芯片的中試線也不能停太久,必須盡快運轉起來?!眳顷徽f。

             早早復工后,出于疫情防控考慮,科研人員只能分批上崗。但聯研院克服了時間緊、任務重和人手不足的困難,迅速組織精干力量,通過多次試驗和參數調整等,完成了高溫離子注入、高溫退火工藝的調試和優化,按計劃高質量完成了香港科技大學委托的晶圓加工特殊工藝的研發。

             目前,聯研院內的這條中試線是國內唯一一條穩定運行并對外開放的6英寸碳化硅器件中試線,可完成6英寸碳化硅晶圓的工藝研發和器件制備,吸引了大量亞太地區芯片龍頭企業、知名高校和芯片設計公司前來開展量產前的中間型試驗。自2019年3月正式啟動運行以來,這條中試線除支撐聯研院自主器件研發外,已累計為20多家研發機構和企業提供了特色工藝研發服務,有力促進了我國電力電子器件的發展。

      來源:國家電網報社新媒體

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